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變形電子束直寫設備，又稱變形電子束光刻設備，是利用變形電子束在涂有抗蝕劑的襯底上進行圖形曝光的系統。它通過多種形狀光闌組合形成特定圖形的面束斑，曝光面積大、效率高，在半導體產業等領域備受青睞。

在半導體制造領域，該設備可用于制作掩模版、量子芯片結構及先進封裝、硅片直寫等。在衍射光學元件制造、微納器件原型開發及加工、科學研究等方面，也發揮著重要作用。

作為大型精密設備，其搬運工作至關重要。搬運時，需使用柔性吊裝帶、起重機等專業設備進行起吊搬運。柔性吊裝帶具有柔軟、不傷設備表面等優點，能在吊運過程中給予設備周全保護。起重機則憑借強大的起吊能力，可輕松應對設備的重量。

在起吊前，工作人員要仔細檢查柔性吊裝帶是否有破損、起重機各部件是否正常運行，確保設備狀態良好。起吊過程中，操作需平穩、緩慢，避免突然加速、減速或晃動，防止設備因受力不均而受損。同時，現場需安排專人指揮，確保搬運過程安全有序。通過規范、嚴謹的操作，才能讓變形電子束直寫設備安全抵達目的地，為后續的科研與生產工作提供有力保障。